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  • 精密光学测量
  • 国产高精度传感器

光学非接触式
高精密测量传感器

betway必威入口提供点/线光谱共焦位移传感器、点/线激光位移传感器、白光干涉膜厚仪及配套控制器，覆盖纳米/微米/亚微米级位移测量、透明材料厚度检测、表面轮廓扫描和在线尺寸检测等工业应用。

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光谱共焦技术

白光干涉技术

激光三角技术

  • 尺寸检测 //
  • 尺寸
  • 厚度
  • 体积
  • 范围
  • 高度
  • 间隙
  • 段差
  • 形貌检测 //
  • 曲率
  • 平面度
  • 粗糙度
  • 毛刺
  • 缺陷检测 //
  • 断层
  • 鼓包
  • 划痕
  • 空隙
  • 裂纹
  • 形变

产品中心

点光谱共焦位移传感器

  • 非接触
  • 亚微米级
  • 无死角
  • 全材质

点光谱共焦位移传感器可对透明、高反射和复杂表面进行非接触式高精度的位移和厚度测量，是工业在线应用的理想选择。

betway必威入口提供四大类控制器、八大类测量探头系列，另有光纤和配件可选。

控制器

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测量探头

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光纤

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配件

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线光谱共焦位移传感器

  • 非接触
  • 微米级
  • 无死角
  • 全材质
  • 三维轮廓测量

3D线光谱共焦位移传感器能够实现快速三维轮廓测量，无惧各种材质、形状，非常适用于平面度、粗糙度、段差和表面轮廓检测，广泛应用于工业制造、精密测量及科学研究等领域。

LC系列最大支持±22°测量角度，Z轴线性精度达±1.25um。

点必威彩票客户端登录

  • 非接触
  • 纳米级
  • 膜厚测量
  • 透明
  • 高反射材质测量

点必威彩票客户端登录可进行纳米级精度的厚度测量，重复精度极高，尤其适用于薄膜和多层结构的测量。

METAFILN-W系列最高精度达±0.1nm，支持测量膜层层数达100层。

点激光位移传感器

  • 非接触
  • 微米级
  • 高反射
  • 低反射材质测量

点激光位移传感器提供高速、非接触式的距离和高度测量，广泛适用于通用工业自动化和精密测量领域。

betway必威入口提供常规款和高精度款两种系列选择。

线激光位移传感器

  • 非接触
  • 亚微米级
  • 高反射
  • 低反射材质测量
  • 三维轮廓测量

3D线激光位移传感器提供高速三维轮廓和表面形貌测量，广泛应用于形状检测和表面轮廓分析。

LS系列提供不同扫描速度、视野画幅的型号选择。

选型提示

对比维度

光谱共焦技术

白光干涉技术

激光三角技术

非接触测量

√

√

√

典型分辨率

亚微米-微米级

纳米级

亚微米-微米级

重复精度

高

极高

中-高

测量范围

小-中

小

中-大

测量速度

高

中

极高

透明材料

√

√

×

高反表面

√

√

√

吸光表面

√

×

×

多层结构

5层

100层

×

弯曲表面

√

√

×

系统复杂度

中

较高

低

典型成本

中

较高

低

典型案例

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